TRS单维扭矩传感器MEMS

展品介绍

锐鹰传感TRS单维扭矩传感器MEMS采用硅基MEMS加玻璃微熔无胶一体化结构，通过无机玻璃原子级键合实现无胶设计，长期蠕变极小。产品精度高、温漂小、抗窜扰，抗过载能力强，高灵敏度可捕捉微小力差；全自动化生产保障产品一致性与高可靠性。主要应用于人形机器人旋转关节模组。