晶圆传输机器人

展品介绍

采用直驱电机结构，适用于高真空腔体环境。搭载自主研发的运动轨迹路径算法，保障晶圆输送过程全程稳定可靠。具备AWC自动纠偏功能，实时确保晶圆取放准确度，充分满足半导体精密制程要求。