MEMS 力/力矩传感器

展品介绍

力觉传感器（拉压力或扭矩）是用于检测机器人与环境或物体间作用力的装置，主要通过半导体应变片或MEMS测量弹性体形变实现多维力/力矩检测。按安装部位可分为腕力传感器、关节力传感器、握力传感器等类型，其中六维力传感器可同时测量三个正交方向的力和绕轴力矩。